000072059 001__ 72059 000072059 005__ 20180822112607.0 000072059 037__ $$aGDOC-2017-26941 000072059 041__ $$aspa 000072059 041__ $$aeng 000072059 100__ $$0(orcid)0000-0003-2874-6368$$1150721$$aCONCEPCIÓN ALDEA, CHAGOYEN 000072059 24500 $$926941$$aMicro y nano sistemas 000072059 24200 $$926941$$aMicro- and Nano-Systems 000072059 260__ $$aZaragoza$$bUniversidad de Zaragoza$$c2017-2018 000072059 520__ $$aBreve presentación de la asignatura Esta asignatura persigue introducir al alumno en las técnicas de diseño de micro y nano sistemas físicos. Se pretende que el alumno obtenga un conocimiento básico, pero suficiente, de todas las fases existentes en el proceso de diseño y fabricación de los sistemas integrados. El alumno debe comprender también los fundamentos de los principales microsistemas electro‐mecánicos y conocer sus aplicaciones. 000072059 521__ $$9124$$aGraduado en Física$$bDegree in Physics 000072059 540__ $$aby-nc-sa$$bCreative Commons$$c3.0$$uhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/3.0/ 000072059 700__ $$0(orcid)0000-0003-2361-1077$$1404124$$aBELÉN TERESA CALVO, LÓPEZ 000072059 700__ $$0(orcid)0000-0003-0182-7723$$1363172$$aSANTIAGO CELMA, PUEYO 000072059 700__ $$0(orcid)0000-0001-8648-6248$$1630277$$aMIGUEL GARCÍA, BOSQUE 000072059 830__ $$9447 000072059 8564_ $$s12546$$uhttps://zaguan.unizar.es/record/72059/files/guia-26941-es.pdf$$yGuía (idioma español) 000072059 8564_ $$s6946$$uhttps://zaguan.unizar.es/record/72059/files/guia-26941-en.pdf$$yGuide (english) 000072059 970__ $$aGDOC-2017-26941 000072059 980__ $$aGDOC$$bCiencias$$bSciences$$c100